Модифицированная микроволновка поможет инженерам создавать чипы по 2-нм техпроцессу

На днях стало известно, что исследователи из Корнеллского инженерного колледжа при помощи слегка модифицированной микроволновки показали процесс создания полупроводников. Отмечается, что эксперимент был произведён по заказу тайваньской компании TSMC, соответственно наработки она сможет в дальнейшем использовать при производстве чипов.

В настоящее время для подготовки полупроводников в условиях уменьшения техпроцесса требуется сильное легирование кремния сторонними примесями, в частности — фосфором. При добавлении его в материал существует риск разрушения основы, при этом процесс легирования сопровождается нагревом до высоких температур для равномерного распределения добавленных веществ по поверхности пластины.

Так сложилось, что при достижении определённого уровня в кремний больше нельзя добавить фосфор привычным способом. В качестве решения этой проблемы инженеры TSMC в своё время предположили, что в этом процессе можно использовать микроволны. При этом отмечалось, что они могут неравномерно нагревать пластины, что являлось основной проблемой в их применении при производстве полупроводников.

Теперь же в сотрудничестве с исследователями из Корнеллского инженерного колледжа, специалистам удалось модифицировать обычную микроволновку, чтобы иметь возможность выборочно контролировать места возникновения «стоячих волн», которые мешают последовательной активации легирующих элементов.

Сообщается, что сделанное открытие вполне может использоваться при производстве чипов по 2-нм техпроцессу. Ожидается, что применение технологии станет массовым примерно к 2025 году.